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Technologie Hochintegrierter Schaltungen (en Alemán)
Dietrich Widmann; Hermann Mader; Hans Friedrich (Autor)
·
Springer
· Tapa Blanda
Technologie Hochintegrierter Schaltungen (en Alemán) - Dietrich Widmann; Hermann Mader; Hans Friedrich
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Reseña del libro "Technologie Hochintegrierter Schaltungen (en Alemán)"
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Proze integration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Proze technologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Proze architekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
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